사업개요
용인시산업진흥원에서는 품목지정형 반도체 소재·부품·장비 응용기술(요소기술) R&D 지원을 통해 반도체 기업 기술 역량 확보 및 기업 경쟁력 강화를 지원하고자 아래 내용과 같이 지원사업을 공고하오니 많은 관심과 참여 바랍니다.
지원자격
ㅇ 지원대상 : 용인 소재 본사 또는 공장 등록 기업
- 반도체용 소재·부품·장비·공정시설용 (시)제품 보유 또는 개발 기업
- 단순 유통 또는 조립만을 수행하는 기업 제외
지원내용
ㅇ 사업내용 : 품목지정형 추진과제(RFP 2건)에 대한 3개년 R&D 비용 지원
| 품목번호 | 품목명(TRL : 4~6단계) |
| 2026-소재부품장비-요소기술01 | 질소(N2) 정제를 위한 소형 Purifier 기반 EFEM 퍼지 재활용 시스템 기술 개발 |
| 2026-소재부품장비-요소기술02 | 차세대 식각/증착 공정의 플라즈마 부하 변동 안정화를 위한 다중 주파수·고조파 대응 능동형 RF Harmonic Matching system 개발 |
| 2026-소재부품장비-요소기술03 | 고온·고부하 환경에서 정밀 열유동 균일화 가능한 반도체 패키지 테스트용 챔버 개발 |
* 상기 품목지정 RFP 중 2개 과제를 선정 및 지원 * [별첨1] 품목지정형 반도체 소재·부품·장비 목록 참고 | |
ㅇ 지원예산 : 기업당 9,000만원 이내(1차년도)
- 각 기업별·연차별 9,000만원 내외 총 3개년 지원(공급가액 기준, 부가세 제외)
- 지원기업은 총 사업비의 20% 이상 현금 매칭 필수
* 기업 현금매칭은 매년 연차별 총 사업비에 대하여 매칭함
* 예시) 1차년도 총 사업비 112,500천원 : 지원금 90,000천원 신청 + 기업부담금 22,500천원 이상 매칭 필요
* 기업에서 원하는 경우 기업부담금은 20%를 초과하여 매칭할 수 있음
신청방법
ㅇ 신청방법 : 온라인 접수 (ybs.ypa.or.kr)
* 본 지원사업 신청시 연구개발(R&D) 1가지 분야로만 신청(타 지원분야로 신청하지 않도록 주의)
ㅇ 문 의 처 : 용인시산업진흥원 전략산업팀
- (이메일) seo@ypa.or.kr